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首先，按照無油空壓機設備操作程序，大部分關閉工作，正常的關閉程序與啟動程序相反。只需將轉速逐漸降低到很低的速度即可。完全打開排氣支路閥，完全關閉排氣門，關閉驅動機，并確認整個系列的空氣壓縮機設備會逐漸自動停止。設備停止后30分鐘內不能停止冷卻水的供應。

其次，在完成無油空壓機設備操作后，要注意檢查各個層次的切割，檢查切割件與切割體之間的配合。如果裁片上有裂紋，請用備件更換。檢查各個級別氣缸的前蓋，檢查氣缸鏡面的摩擦力如果有摩擦痕跡，找出原因。用機身導軌檢查橫滑板和摩擦面的摩擦情況。拆下連桿大頭襯套和+字頭銷，并檢查摩擦面的摩擦力。

同樣，有必要檢查無油空壓機的油位指示器指示的油位是否滿足要求。以及連接件的連接和固定。如果有松動，請及時固定。觀察并判斷運動部件是否靈活。用手轉動飛輪，使無油空壓機空轉兩次或三次。萬一發生卡紙和碰撞。

然后，注意檢查無油空壓機潤滑油的質量，并更換機身中的潤滑油。在無油空壓機初次運行后，由于零件的磨合和潤滑油的清潔作用，大量的金屬細粉進入潤滑油。因此，運行24小時后應更換所有潤滑油。運行200小時后，再次更換機油。兩次更換后，請根據常規維護要求更換機油。